凈化車間的優(yōu)勢。1、多功能性凈化車間是一個多功能綜合整體,體現(xiàn)在以下兩個方面:(1)專業(yè)性高:專業(yè)的凈化設(shè)施,包括凈化空調(diào)等,可以達(dá)到凈化水氣體的作用。(2)多參數(shù):空氣潔凈度、細(xì)菌濃度、風(fēng)量、壓力、噪音和照明燈都可以在車間內(nèi)展示出來。2、良好的潔凈性能不吸塵,適用于光電凈化車間墻體,節(jié)約能源,保護環(huán)境。3、質(zhì)量好設(shè)計、施工和運營管理對凈化車間的質(zhì)量非常重要,占據(jù)了位。凈化車間的設(shè)計到管理的整個過程,都是一體化進(jìn)行的,從而保證了凈化的質(zhì)量。4、施工方便10-14 kg / m2,相當(dāng)于磚墻的1/30,通常使用50mm厚的膠合板來搭建車間的隔墻和屋頂。
無塵車間生產(chǎn)對于濕度控制是非常重要的條件之一,無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標(biāo)值大約控制在30至50%的范圍內(nèi),允許誤差在±1%的狹窄的范圍內(nèi),例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內(nèi)。
無塵車間在設(shè)計時一定要符合生產(chǎn)工藝過程的要求。不管是上工序還是下工序,兩者間的運輸距離要短,盡量避免迂回和往返運輸。車間的地面要用堅固、防滑、易清潔、不滲水、耐腐蝕的材料鋪制;墻面則要鋪有2米以上的墻裙,墻面用耐腐蝕、易清洗消毒、堅固、不滲水的材料鋪制及用淺色,防水、無毒、不易脫落、防霉、可清洗的材料覆涂。